Sciences Industrielles pour l’Ingénieur en CPGE
I- Introduction Les micromiroirs sont des miroirs de taille très petite, typiquement entre 10 m2 et 1cm2. Leur développement est récent, et correspond à celui des MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) et des MOMS (Micro Opto Mechanrcal Systems) : dans ces types de systèmes, on trouve par exemple des microvalves, des micromoteurs, des microtentilles, des microscanners, etc. Les micromiroirs peuvent servir à un grand nombre d’applications dans ce contexte de systèmes de dimensions très réduites, comme nous allons le voir. Ils sont généralement constitués d’une couche d’aluminium (ou d’or pour certaines applications) déposée sur un support de silicium (ou Si02, Si3N4,...)- Tous les miroirs étudiés ici sont situés au-dessus d’un gap d’air, et afin de réaliser ce vide, on utilise à la fabrication les techniques de couches sacrifiées. Pour découper le miroir et le libérer de son support, on se sert des gravures isotropiques ou anisotropiques à l’aide d’acide, d’ions ou de laser. Ces technologies sont classiques dans la fabrication des MEMS ou microcapteurs. Dans les systèmes que nous allons voir, la plupart sont réalisés sur un seul wafer. Plus rares sont ceux qui- nécessitent l’assemblage de plusieurs pièces poyr obtenir le système complet ; ce type de microsystèmes n’est d’ailleurs pas très au point et pose de nombreux problèmes technologiques dans le domaine des micromiroirs. Les micromiroirs sont d’une manière générale encore au stade de la recherche. Nous allons tout d’abord étudier les différentes façons de réaliser un micromiroir rigide mobile, avec un ou deux degrés de liberté, ainsi que leurs applications. Dans une deuxième partie, nous étudierons les recherches effectuées dans le domaine des miroirs déformables. Enfin, nous verrons la seule application à notre connaissance où un système utilisant des micromiroirs donne lieu à un produit commercialisé, avec les appareils de projection et télévisions à DMD (Digital Micromirror Device).
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Vous pouvez compléter votre étude à partir des sites suivants
Technologie DLP
Nouveaux projecteurs DLP
Présentation powerpoint du Cea-Leti
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